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VAT 16.2 高压摆式隔离阀系列 16.2 HV 摆式隔离阀提供可靠的隔离性能以及低颗粒计数和低颗粒激活。卓越的颗粒性能是通过异常平稳的打开和关闭运动实现的。 |
2024-12-09 |
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VAT 19.0大FV闸阀系列 19.0 大型闸阀系列专为需要超大尺寸的应用（例如空间模拟应用）提供可靠隔离而设计。该系列设计直径*大为 DN 1250 mm (50)， |
2024-12-09 |
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VAT 真空蝶阀系列 20.3 VATTERFLY 阀门的关键要素是特殊的 VATterfly 技术。VATTERFLY 关闭机构的操作方式与传统蝶阀技术显着不同。在关闭循环 |
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VAT 21.0FV蝶阀系列 21.0 FV 蝶阀提供与标准闸阀相同的可靠真空隔离，并具有占地面积要求较低的优点。蝶形原理与紧凑型执行器设计相结合，允许在 |
2024-12-09 |
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VAT 25.1 高压气缸阀系列 25.1 HV 气缸阀系列设计用于具有腐蚀性和携带颗粒气体的恶劣工艺环境，例如次晶圆厂工艺。它的布局可实现*大电导，并可采用 |
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VAT 26.4 高压角阀系列 角阀的关键性能指标是可靠性和可变性。26.4 HV 角阀系列同时满足这两个要求。26.4 系列在各种工艺条件下经过数千个要求严格 |
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VAT 25.7 高压快速切断阀系列 现代截止阀的主要要求是在任何回流事件时都能可靠且快速地紧急隔离。25.7 旨在提供灵敏、高速的隔离功能，可靠地防止回流到 |
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VAT 11.1 高压闸阀系列 11.1 HV 闸阀系列配备了专门开发的 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，闸板密封处不会产生任何摩擦。由于关闭终端位置的机械 |
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