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VAT 高压摆式控制阀65.3 系列 65.3 变压控制阀为下游压力控制和隔离设立了新标准。该系列变压控制阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在较宽的电导范 |
2023-07-20 |
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VAT 特高压控制闸阀64.8 系列 64.8 UHV 控制闸阀系列专为在半导体生产中的溅射或 EUV 等应用中的超高真空工艺中进行可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足 |
2023-07-20 |
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VAT 高压控制闸阀64.2 系列 64.2 HV 控制闸阀专为高循环真空工艺（例如半导体生产中的溅射或蚀刻工艺）中可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足耐用性、 |
2023-07-20 |
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VAT 蝶形控制阀61.3系列 61.3 控制蝶阀提供出色的压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器（0.1 秒），它是 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的完美解决方 |
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