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VAT 对称控制阀67.0系列 67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计，用作下游控制和隔离阀。 工艺室中的气流特性直接影响工艺速度 |
2023-07-20 |
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VAT 高压摆式控制阀65.3 系列 65.3 变压控制阀为下游压力控制和隔离设立了新标准。该系列变压控制阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在较宽的电导范 |
2023-07-20 |
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VAT 蝶形控制阀61.3系列 61.3 控制蝶阀提供出色的压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器（0.1 秒），它是 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的完美解决方 |
2023-07-20 |
