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VAT 02.4 带 MONOVAT 的大型输送阀系列
  配备 MONOVAT 的 02.4 大型输送阀专为满足高真空条件下有机材料气相沉积系统的特殊要求而开发。02.4 专为高循环生产系统而设
2023-07-20
VAT 79.0 特高压挡束器系列
  光束限位器的主要要求是可靠的作用限位机构。  79.0 光束阻挡器系列可在 UHV 和 XHV 应用中提供可靠的能量辐射保护。带有
2023-07-20
VAT 75.0特高压快关阀系列
  快速关闭阀的主要要求是在出现空气涌入时能够快速可靠地做出反应。由于泄漏而失去 UHV 或 XHV 环境,特别是在加速器或存储环
2023-07-20
VAT 54.1 UHV/XHV 全金属角阀系列
  54.1 全金属角阀配备了 FLEX VATRING,*种硬对硬密封技术。这种动态的全金属密封系统的特点是*致的密封和恒定的关闭力。它可
2023-07-20
VAT 11.1 高压闸阀系列
  11.1 HV 闸阀系列配备了专门开发的 VATLOCK 技术,可提供可靠的密封,闸板密封处不会产生任何摩擦。由于关闭终端位置的机械
2023-07-20
VAT 25.7 高压快速切断阀系列
  现代截止阀的主要要求是在任何回流事件时都能可靠且快速地紧急隔离。25.7 旨在提供灵敏、高速的隔离功能,可靠地防止回流到
2023-07-20
VAT 26.4 高压角阀系列
  角阀的关键性能指标是可靠性和可变性。26.4 HV 角阀系列同时满足这两个要求。26.4 系列在各种工艺条件下经过数千个要求严格
2023-07-20
VAT 25.1 高压气缸阀系列
  25.1 HV 气缸阀系列设计用于具有腐蚀性和携带颗粒气体的恶劣工艺环境,例如次晶圆厂工艺。它的布局可实现*大电导,并可采用
2023-07-20