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VAT 蝶形控制阀61.3系列 61.3 控制蝶阀提供出色的压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器（0.1 秒），它是 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的完美解决方 |
2024-12-09 |
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VAT 高压控制闸阀64.2 系列 64.2 HV 控制闸阀专为高循环真空工艺（例如半导体生产中的溅射或蚀刻工艺）中可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足耐用性、 |
2024-12-09 |
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VAT 特高压控制闸阀64.8 系列 64.8 UHV 控制闸阀系列专为在半导体生产中的溅射或 EUV 等应用中的超高真空工艺中进行可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足 |
2024-12-09 |
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VAT 高压摆式控制阀65.3 系列 65.3 变压控制阀为下游压力控制和隔离设立了新标准。该系列变压控制阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在较宽的电导范 |
2024-12-09 |
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VAT 对称控制阀67.0系列 67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计，用作下游控制和隔离阀。 工艺室中的气流特性直接影响工艺速度 |
2024-12-09 |
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VAT 01.0 迷你特高压闸阀系列 01.0 迷你特高压闸阀系列采用 VAT 的专利 MONOVAT 技术，该技术专门开发用于提供可靠的闸门密封，无任何摩擦。凭借 MONOVAT |
2024-12-09 |
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VAT 08.2 FV插入式闸阀系列 08.2 插入式闸阀系列设计用于直接安装在两个连接管道之间，无需法兰。优点：它需要很少的空间。 该闸阀采用VAT的专利VATL |
2024-12-09 |
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VAT 09.1 带保护环的高压闸阀系列 气流中副产品的比例非常高，可能会导致阀门故障以及由于沉积物的形成而导致计划外的维护工作。带保护环的 09.1 HV 闸阀可防 |
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